超快激光微纳加工技术

超快激光微纳加工是一种特种超精细加工技术，由于具有极大瞬态功率的超短脉冲光与物质强烈的非线性线性相互作用，使加工技术适用于各种材料，对于透明介质，可以制备三维结构。其“特”就表现在可以加工特种材料、可以实现特殊结构和特定的光、电、机械等性能。精密微细、低损低热、三维选择，这些独一无二的优势，使得超快激光微加工在航空航天、生物医疗、信息技术、新能源、新材料等产业日益得到应用，尤其在消费电子领域。

与连续波和长脉冲激光的微加工相比，超快激光有几个优点：创建微型结构结构、对周围环境没有附带损害、清洁的工艺外观、小的热影响区(HAZ)、没有改变材料性质、以及具有透明的材料表面或内部结构。超快激光微加工是超快激光应用的一个快速发展的领域。因为加工过程不依赖于激光波长的线性吸收，所以实际上任何电介质、金属或机械硬材料都可以通过相同的激光束进行加工，以进行表面烧蚀和内部修饰。

而科研级微纳加工系统，对任意超快激光器，系统提供可调节的光强衰减器以控制输出光强，通过加工速度控制曝光时间，互换的透镜和显微物镜控制焦斑尺寸。系统主要部分是高性能的位移平台，提供很高的精度和重复度。并集成透射式显微镜照明、高数值孔径显微物镜、给特殊样品定制样品夹具，以及易于使用的软件界面，使用户快速上手进行需要的材料加工。