RGA系列残余气体分析仪 真空分析仪 质谱分析仪
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9999999.00
产品描述:
可以定量和定性分析出真空腔中残余气体的浓度和成分。
100,200,和300amu
优于1amu的分辨率
6个量级的动态范围
可检测5 x 10-14Torr
实时RGA Windows和LabVIEW软件
质谱,泄漏检测和压力对时间方式
现场可更换的电子倍增器和灯丝
RS232计算机接口
残余气体分析仪(RGA)划分为100、200、300amu三种型号,其优异的性能使其成为真空分析仪中领先产品。每一个RGA系统都由一个四级杆探针和电子控制单元组成,实时分析windows软件包可以更方便用于数据采集和分析,并可进行远程控制。
探测器类型 标准法拉第杯(FC), 可选电子倍增 (EM)
分辨率 优于0.5amu
灵敏度(A/Torr) 2 × 10−4 (FC), <200 (EM).
探测极限 5 × 10−11 Torr (FC),
5 × 10−14 Torr (EM)
测试范围 10−4 Torr to UHV (FC)
10−6 Torr to UHV (EM)
操作温度 70 °C (max.)
工作温度 300 °C (without ECU)