PPR系列过程检测系统 MOCVD在线过程监控 真空检测仪
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产品描述：
主要应用：真空在线检测；高真空成份分析；MOCVD等在线过程监控；10mTorr-10Torr真空度内反应过程检测等等。
0.01, 0.1, 1.0 or 10 Torr inlet pressure
3 × 10−5 Torr-L/s flow rate
2 second response time (0.1 Torr)
100, 200 or 300 amu systems
Field-replaceable electron multiplier and filament
6 orders of magnitude dynamic rang
