产品特点
设计灵活、精准套刻、超大面积拼接、实时观测、市面上高性价比的高精度光刻机
应用案例
无掩膜版光刻设备基于空间光调制器 (DMD/DLP) 的技术，实现了高速、高精度高灵活性的无掩膜版紫外光刻。
平面光刻
超材料结构 环形光栅槽结构传感器 蛇形电极 叉指电极 自旋电子器件
S型通道微流控芯片 回型结构 MEMS器件 400nm线栅 700nm十字
应用案例
灰度光刻
无掩膜版紫外光刻机支持256阶灰度光刻
珍珠女郎 勋章菊
3D重构
以下图例均为自研的多功能先进显微镜拍摄
MEMS器件 蛇形电极 自旋电子器件 超材料结构
叉指电极 环形光栅槽结构传感器 回型结构 太赫兹天线
客户案例（部分）
Room‐Temperature Magnetoelectric Coupling in Atomically Thin ε-Fe2O3.
Advanced Materials, 2023, 35(7): 2209465.
Multifunctional GeAs/WS2 Heterojunctions for Highly Polarization-Sensitive Photodetectors in the Short-Wave
Infrared Range
ACS Applied Materials & Interfaces, 2022.
A solution-fabricated tellurium/silicon mixed-dimensional van der Waals heterojunction for self-powered
photodetectors
Journal of Materials Chemistry C, 2022, 10(18): 7283-7293.
Vertically stacked Bi2 Se3 /MoTe2 heterostructure with large band offsets for nanoelectronics
Nanoscale, 2021, 13(36): 15403-15414.
High performance DUV-visible 4H-SiC-based multilayered SnS2 dual-mode photodetectors
Journal of Materials Chemistry C, 2021, 9(43): 15662-15670.
Anisotropic Shubnikov-de Haas effect in topological Weyl semimetal MoTe2
Applied Physics Letters, 2021, 119(24): 243501.
Bulk Spin Torque‐Driven Perpendicular Magnetization Switching in L10 FePt Single Layer.
Advanced Materials, 2020, 32(31): 2002607.
