TopWave 266 深紫外激光系统 单频半导体激光器

TopWave266
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产品描述

工业级连续波 UV 激光器

 

产品整体参数

特点:150/300 mW @ 266 nm
优异的寿命表现(> 10000 小时)
在整个寿命期间保持光束质量一致(M² < 1.3)
配备自动晶体移位器的密封倍频腔
超稳定,低噪音连续操作,交钥匙系统

 

 

产品技术性说明:

工业级连续波TopWave深紫外激光系统在266nm波长处提供300mW输出功率,它具有出色的功率稳定性及很高的可靠性。该系统将一套完整的紫外光路(包括共振倍频腔)密封于单独模块内。结合倍频晶体的全自动位移器,系统典型寿命> 10,000小时,这对于任何工业应用都十分关键。通过优化光束整形设置,系统能保持光束质量的一致性,这套整形装置也集成在密封的UV模块里。为了避免在非超净室环境中输出光窗的污染,用户可将吹扫管线连接到所提供的接口。

TopWave 266在低噪音操作方面设定了新的标准。窄线宽激光输出通常具有< 0.1% RMS,因此可保证用户在测量时获得更优良的信噪比。TopWave 266是一套易于集成的交钥匙系统,用户可通过控制单元的触摸面板控制系统,或通过USB/以太网接口与电脑用户界面搭配进行控制。由于其电光转换效率高,系统运行时仅需传导冷却。如果无法进行适当散热,可选择闭环水冷机制。

TopWave 266非常适用于复杂的测量和生产任务,例如:半导体检测,光刻或拉曼光谱等。它是一种经济高效且可靠的激光,使客户能够不必担心光源而专注于自己的应用。

 

产品列表

Laser Specifications

TopWave 266-150

TopWave 266 -300

Output power

150 mW

300 mW

Wavelength

266 nm±0.5 nm

Linewidth

<1MHz

Beam diameter (1/e2)

0.4 mm±0.2 mm

Beam divergence (full-angle)

< 0.8 mrad

Ellipticity

< 15%

Beam pointing stability (typ.)

5 μrad / K

Beam quality

TEM00

M2

M2x<1.3,M2y< 1.3

Polarization

linear, vertical< ±

Polarization extinction ratio

> 200:1

Power stability

<1 % over 8h

RMS noise

< 0.25 % (10Hz- 10 MHz)

Lifetime (typ.)

> 10,000 h (with optics shifts)

Uility and Environmental Specifications

Laser head dimensions

135 x295 x 470mm (H x W x D)

Control unit dimensions

154 x378 x 448mm (H x W x D)

Umbilical length

2m

Temperature range

Operating

20 °C to 35 °C, stabilized to±3 °C, non-condensing

Storage & shipping

-10 to + 50 °C

Cooling requirements

Laser head

Conduction, if propertly stabilized heat sink is provided.
Optional cooling plate with closed loop chiller available

Control unit

Air-cooled

Line voltage

AC 100-240 V 50/60 Hz

Power consumption

<120W

Communication interface

USB, Ethernet