分子束外延生长系统

产品描述

分子束外延生长系统

产品整体参数

产品技术性说明：

分子束外延生长系统(MBE )是-种在样品表面生长高纯度薄膜的超高真空技术。系统中的蒸发源通过精确控制外延层的组分和掺杂浓度，来精确控制薄膜的厚度和纯度。这项技术可广泛应用于：晶体生长、薄膜制备，表面科学及相关的半导体领域。

蒸发源通过直流加热或者电子束加热的方式，将蒸发源坩埚中的材料以分子束的形式沉积在热的样品基底表面。为保证生长材料的纯度，整个过程在超高真空环境中进行。高精度可编程电源和挡板可以精确控制生长材料的增长速率及纯度，材料生长可通过微晶天平监测。

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