电子束蒸发源
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产品描述
电子束蒸发源
产品整体参数
超高真空兼容
蒸发温度不小于3000℃
精确的线性推进: 0.01mm精度,25mm行程
内置挡板,不受空间限制完全打开
可靠的東流监控,有效避免外界电磁场影响
填料方便快速
产品技术性说明:
电子束蒸发源是一款利用电子東加热原理设计而成的真空镀膜产品。它是由发射电子的热阴极、电子加速极和作为阳极的镀膜材料组成。在超高真空背景下,加热的灯丝发射热电子并且被加速,获得很大的动能的热电子轰击到蒸发材料表面上,把动能转化成热能使蒸发材料气化,而实现蒸发镀膜。电子束蒸发源的能量可高度集中,使镀膜材料局部达到高温从而蒸发。通过调节电子束的功率,可以方便地控制镀膜材料的蒸发速率,特别适用于蒸镀高熔点以及高纯金属及其化合物材料。
产品列表
安装法兰 |
DN40CF (O.D.2.75”) |
烘烤温度 |
200℃ |
蒸发温度 |
≥3000℃ |
腔内尺寸 |
170-400mm |
冷却方式 |
内部水冷,1L/min |
束流监控范围 |
0.1nA-1mA,发散度±6℃ |