电子束蒸发源

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产品描述

电子束蒸发源

 

产品整体参数

超高真空兼容

蒸发温度不小于3000

精确的线性推进: 0.01mm精度,25mm行程

内置挡板,不受空间限制完全打开

可靠的東流监控,有效避免外界电磁场影响

填料方便快速

 

产品技术性说明:

电子束蒸发源是一款利用电子東加热原理设计而成的真空镀膜产品。它是由发射电子的热阴极、电子加速极和作为阳极的镀膜材料组成。在超高真空背景下,加热的灯丝发射热电子并且被加速,获得很大的动能的热电子轰击到蒸发材料表面上,把动能转化成热能使蒸发材料气化,而实现蒸发镀膜。电子束蒸发源的能量可高度集中,使镀膜材料局部达到高温从而蒸发。通过调节电子束的功率,可以方便地控制镀膜材料的蒸发速率,特别适用于蒸镀高熔点以及高纯金属及其化合物材料。

 

产品列表

安装法兰

DN40CF (O.D.2.75”)

烘烤温度

200

蒸发温度

3000

腔内尺寸

170-400mm

冷却方式

内部水冷,1L/min

束流监控范围

0.1nA-1mA,发散度±6